Umweltschutz der Halbleiterindustrie
Mit zunehmendem Umweltbewusstsein der Menschen steigt auch die Aufmerksamkeit für Umweltschutzfragen. Wir haben nur einen Planeten. Wie wir unser Lebensumfeld schützen und gleichzeitig die Wirtschaft entwickeln können, ist zu einem dringenden Thema geworden. Reduzieren Sie die Belastung der globalen Umwelt, sorgen Sie für Sicherheit und Gesundheit und schützen Sie die Umwelt. Das Einsparen von Energie zum Einsparen von Ressourcen, das Recyceln von Abfällen, das Reduzieren von Abfällen und das Verwalten des Ausstoßes chemischer Substanzen sind zum Konsens der Menschen zum Schutze der Umwelt geworden. In Verbindung mit der Förderung der ISO14000-Zertifizierung und dem Ziel, eine grüne Fabrik des 21. Jahrhunderts zu errichten, haben sich die Menschen aktiv für den Umweltschutz eingesetzt. Die Besonderheit der Halbleiterindustrie hat dazu geführt, dass verschiedene Branchen den Umweltschutzaspekten mehr Aufmerksamkeit schenken.
Verhinderung der globalen Erwärmung
Die Verhinderung der globalen Erwärmung der Erde ist zu einem wichtigen Thema geworden, das in den letzten Jahren vielfach diskutiert wurde. In der Halbleiterindustrie gibt es zwei Hauptprobleme:
1. Energieeinsparung
Die Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie, Klimaanlagen, Kälte- / Wärmequellenanlagen und die Verwendung von reinem Wasser, Flüssigkeitszufuhr, Abgas, Gas, elektrischen Anlagen usw. sind an 365 Tagen im Jahr rund um die Uhr in Betrieb. und verbrauchen viel Energie. Auf die Art des Energieverbrauchs entfallen rund 85% auf Strom und Energie und 15% auf Energiequellen wie Kraftstoff und Dampf. Ausgehend vom Stromverbrauch beträgt der Anteil der Geräte zur Herstellung vor dem Prozess etwa 40% bis 50%, der Anteil der Geräte zur Klimatisierung, der Kälte- / Wärmequelle etwa 30% und der Anteil der anderen Zusatzgeräte etwa 25%.
Energie sparen, Kosten senken und die Wettbewerbsfähigkeit der Produkte verbessern - das sind Aufgaben, die Unternehmen seit langem umsetzen. Einerseits können durch die technologische Umgestaltung bestehender Anlagen erhebliche wirtschaftliche Vorteile erzielt werden, andererseits ist die Investition in Halbleiterfabriken mittlerweile enorm, die technologische Entwicklung ist extrem schnell. Als Halbleiterindustrie sollte die zukünftige Forschungsrichtung der Energieeinsparung unter folgenden Gesichtspunkten festgelegt werden:
Herstellungsausrüstung: Verbesserung der Energieumwandlungseffizienz und damit Verbesserung der Energienutzung, um Energieeinsparungszwecke zu erreichen; Reduzieren Sie den Stromverbrauch im Standby-Zustand der Geräte und reduzieren Sie entsprechend die Klimatisierungslast, um Energie zu sparen. Abgasleistung der Anlage reduzieren Die Abgasbehandlungslast wird reduziert, um Energie zu sparen. Der Installationsbereich des Geräts wird reduziert, um den Bereich der Reinigungszone zu steuern und Energie zu sparen.
Hilfsausrüstung: Miniaturisierung der Ausrüstung; Reduzierung der Fläche für die Hochreinigung, um den Energieverbrauch der Luftzirkulation zu senken und Energie zu sparen; Verwendung einer Klimaanlage mit geringem Druckverlust; Verwendung neuer Isolationsmaterialien zur Förderung der Glättung des Stromverbrauchs; Verwenden Sie Kohlendioxid, das beim Reduzieren des Energieverbrauchs entsteht.
Produktentwicklung und Prozessdesign: Entwicklung von Produkten mit hohem Mehrwert; kostenorientierte Produktentwicklung (Reduzierung der Chipfläche, Prozessstandardisierung, Verkürzung des Designzyklus); Steigerung der Produktion (Steigerung der Ausstoßrate, Reduzierung der Anzahl der Ingenieure und Verkürzung der Testzeit).
Die Entwicklung der Halbleiterindustrie selbst ist leistungsfähig, leicht, dünn und energiesparend geworden. Beitrag zur Energieeinsparung bei Maschinen und Anlagen. Wir freuen uns auf die Einführung neuer Geräte zur Energieeinsparung.
2. PFC reduzieren
PFC (PREFLUOROCARBON) wird hauptsächlich in der CVD-Technik zur Halbleiterherstellung, als Reinigungsgas und als Prozessgas in der Trockenätztechnik eingesetzt. PFC wurde in die Emissionsminderung einbezogen, da es die Ozonschicht der Erde zerstören kann. Die meisten von ihnen werden nicht direkt verarbeitet und direkt in die Atmosphäre abgegeben, und die Reduzierung der PFC-Emissionen ist ein wichtiges Thema, mit dem die Halbleiterindustrie in Zukunft konfrontiert ist.
Zukünftige Forschungsrichtungen werden sich auf folgende Aspekte konzentrieren:
Entwicklung eines Systems zur Rückgewinnung von entladenem PFC (mit dem Ziel, PFC effektiv und kostengünstig zu recyceln, zu trennen und zu verfeinern); Entwicklung neuer PFC-Verarbeitungstechnologien (Umwandlung von PFC in Nicht-Treibhausgasemissionen); Entwicklung alternativer Gase (Ersatz der derzeit verwendeten Gase durch Gase mit geringem Erderwärmungskoeffizienten; Entwicklung neuer Verfahren (Erforschung neuer Ätzverfahren).
Japans Plan zur Kontrolle der PFC-Emissionen in der Elektronikindustrie, der im April 1998 angekündigt wurde, schlägt ein auf 1995 basierendes Reduktionsziel vor. Bis 2010 werden die Emissionen jedes Projekts für die neue Linie um 70% reduziert. Die Linie wird um 10% gekürzt. Die Vereinigten Staaten haben sich auch ein Ziel für die Rückgewinnungsrate von PFC in der Halbleiterindustrie gesetzt. Hier sind einheimische Branchenakteure eingeladen, sich frühzeitig mit diesem Thema zu befassen.