Anwendung für elektrostatische Technologie in der Halbleiterindustrie
In der Werkstatt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen wird die Ausbeute der ultra-großen integrierten Schaltung aufgrund der Adsorption von Staub auf dem Chip stark reduziert. Die Bediener der Produktionswerkstatt tragen einen sauberen Overall. Wenn der Körper mit statischer Elektrizität aufgeladen wird, kann er leicht Staub, Schmutz usw. aufnehmen. Wenn diese Stäube und Schmutz an den Einsatzort gebracht werden, kann dies die Produktqualität beeinträchtigen, die Produktleistung beeinträchtigen und die Ausbeute stark beeinträchtigen . . Wenn der Radius der adsorbierten Staubpartikel größer als die Linienbreite ist und die Filmdicke darunter liegt, wird das Produkt höchstwahrscheinlich verschrottet.
Daher muss während der Verarbeitung und Verpackung ein ESD-Schutzsystem eingerichtet werden. Die Fertigungslinie für IC-Verpackungen hat höhere Anforderungen an statische Elektrizität. Um den normalen Betrieb der Produktionslinie sicherzustellen, die gesamte Dekoration der antistatischen Baumaterialien für die saubere Fabrik und die Hardwaremaßnahmen für das gesamte Personal, das die saubere Fabrik betritt und verlässt, um antistatische Kleidung zu tragen Die Verpackungsunternehmen können sich an den jeweiligen nationalen Standards und der tatsächlichen Situation des Unternehmens orientieren. Das Unternehmen hat Unternehmensstandards oder spezifische Anforderungen für Antistatik entwickelt, um dem normalen Betrieb der Verpackungsproduktionslinie gerecht zu werden.
Da es viele Arten von Geräten zur Staubentfernung und zum Beseitigen statischer Aufladung gibt, wird die Auswahl des Produkts, das zu Ihnen passt, hauptsächlich anhand der Bedingungen in der Produktionslinie festgelegt. Hier sind einige der Geräte, die Staub und statische Elektrizität entfernen:
1. Ionen-Luftgewehr: Es ist durch einen handgehaltenen Typ gekennzeichnet, und der Betriebsmodus ist sehr zufällig. Es ist eher für den Einsatz im Inspektionsteil geeignet. Der Inspektor kann sehen, dass dort Staub ist, nehmen Sie einfach die Luftpistole und blasen Sie sie ab.
2, Ionendüse: Es ist ein festes Produkt, geringe Größe, besetzt den Ort nicht, es ist eher für die Station oder einen kleinen Raum in einer kleinen Station geeignet. Es kann auch in Pedal und induktiv gemacht werden.
3, Ionenwindschlange: Es gibt drei Arten: Normal, Induktiv und Pedal, um die Bedürfnisse der Kunden in unterschiedlichen Umgebungen am Produktionsstandort zu erfüllen. Es ist für den Einsatz in Räumen geeignet, in denen kein Personal benötigt wird, aber es muss die Richtung der Staubeinwirkung eingestellt werden.
Zusätzlich zu den oben genannten Produkten ist ein Ionenlüfter in einem Teil der Montagelinie und der Betriebsstation erforderlich, wodurch die Ansammlung statischer Elektrizität reduziert wird und verhindert wird, dass das Produkt unwissentlich zusammenbricht. Wir können unseren hängenden Lüfter oder den Tischlüfter auswählen, der eine große Verlustleistung aufweist und keinen Arbeitsbereich belegt. Sie kann entsprechend der Größe der Workbench oder der Breite der Pipeline ausgewählt werden.