Gefahren durch statische Elektrizität in Reinräumen der Mikroelektronik
Erhöhte statische Elektrizität verringert die Qualität elektronischer Produkte, elektromagnetische Störungen unterbrechen den Betrieb automatischer Geräte und elektrostatische Adsorption erhöht die Schwierigkeit beim Sammeln von Oberflächenpartikeln. Daher ist es auch erforderlich, die Erzeugung statischer Elektrizität zu kontrollieren. Da elektrostatische Ladungen tatsächlich Verunreinigungen an Produkt- oder Werkzeugoberflächen anziehen, rückt die elektrostatische Adsorption in Reinräumen immer mehr in den Mittelpunkt der Aufmerksamkeit. Wenn beispielsweise ein 4--Zoll-Wafer auf 1 kV aufgeladen wird, erreicht die Adsorptionskraft für Partikel mit einem Durchmesser von 1 Mikrometer 830,000 Pfund pro Quadratzoll. Daher ist die elektrostatische Adsorption zwischen geladenen Objekten und Partikeln stärker als die Schwerkraft, die aerodynamischen Kräfte und die Adhäsionskräfte.
Zu den wichtigsten Erscheinungsformen der Gefährdung durch statische Elektrizität in sauberen Werkstätten in der Elektronikindustrie gehören:
1. Staub absorbieren. Aufgrund der elektrostatischen Adsorption werden Luftpartikel in Reinräumen an den Oberflächen elektronischer Komponenten und Wände adsorbiert, was die Produktqualität und Sauberkeit beeinträchtigt. Statische Elektrizität ist auch in Reinräumen zu einer neuen Staubquelle geworden.
2. Brände und Explosionen verursachen. In Reinräumen der Elektronikindustrie werden große Mengen brennbarer und explosiver Gase, Flüssigkeiten und organischer Lösungsmittel verwendet. Statische Elektrizität kann zur Zündquelle dieser Gase (Flüssigkeiten) und Lösungsmittel werden und Brände oder Explosionen verursachen.
3. Koronaentladung oder Funkenentladung erzeugt Geräusche und stört elektronische Geräte und elektronische Komponenten.
4. Erzeugen Sie ein elektrostatisches elektrisches Feld, das zu Kurzschlüssen, Ermüdung oder Schäden an elektronischen Bauteilen führt.
Aus diesem Grund ist die kontinuierliche Verbesserung der Technologie in der Mikroelektronikindustrie auch Ausdruck der kontinuierlichen Verbesserung der Antistatiktechnologie. Der Inhalt elektrostatischer Schutzsysteme wird immer umfangreicher. Zusätzlich zu herkömmlichen Personenschutzsystemen (antistatische Kleidung, antistatische Schuhe, antistatische Handgelenkbänder usw.) muss neben Hardware-Schutzsystemen wie Geräten zur Beseitigung statischer Elektrizität noch mehr hinzugefügt werden Software für elektrostatische Schutzsysteme.