Statischer Strombedarf für Reinräume
(1) Reinraum
Halbleiter, LCD-Flachbildschirme, Optoelektronik und Biomedizin erfordern saubere Produktionsstätten. Im Allgemeinen beziehen sich Reinräume auf Räume oder begrenzte Räume, in denen die Konzentration von schwebenden Luftpartikeln im Raum innerhalb bestimmter Grenzen kontrolliert wird. Je kleiner die begrenzte Partikelanzahl, desto höher die Reinheit.
(2) Statische Elektrizität im Reinraum
Aufgrund der Sauberkeitsanforderungen des Reinraums, Inneneinsatz
① Eine große Anzahl von dekorativen Materialien mit hohem Isoliermedium, Böden, Wände, Türen, Decken, Trennwände, Werkbänke, Stühle usw., diese Materialien sind leicht zu elektrisieren und durch Reibung aufzuladen, und sind nicht leicht auszulaufen und zu lösen.
Kunststoffboden 500V~1000V im Fotoätzraum, 500V~1500V im Diffusionsraum, 500V~1500V im Fliesenboden, 700V für Kunststofftapeten, OV~1000V für Kunststoffdecken, 500V~3000V für bewegliche Ledersessel aus Metall.
②Wenn Menschen saubere Overalls oder Schuhe tragen, spazieren gehen oder arbeiten, wird durch Reibung mit verschiedenen Materialien, Ausrüstung und Ausrüstung statische Elektrizität erzeugt und Personen, Kleidung und Schuhe werden aufgeladen.
Menschen, die Nylonkleidung und Plastikschuhe mit Gummisohlen tragen, gehen langsam über den sauberen Boden, wobei ihre Körper eine statische Spannung von 7000 V~8000 V haben.
1200V (10%~20%RH), 250V (65%~90%RH) können zum Gehen auf Vinylboden verwendet werden, 35000V (10%~20%RH), 1500V (65%~90) können zum Gehen verwendet werden auf Teppich %RH), der Chip-Montagelinie, kann die Arbeitskleidung, die Menschen tragen, 10KV erreichen.
③Der Luftstrom der Klimaanlage strömt durch den Primäreffektfilter, den Mitteleffektfilter und den Hochleistungsfilter, und der gereinigte Auslassluftstrom wird elektrostatisch aufgeladen.
Die Luftzufuhr- und Rückluftauslässe aus Aluminiumplatten sind 500~1000V.
④ Eine Vielzahl von isolierenden Geräten, Geräten und Werkzeugen sind ebenfalls wichtige Quellen elektrostatischer Aufladung. Produktionslinie für Wafermontage: Waferladebox 35KV, Plexiglasabdeckung 8KV, Quarzprodukt 1,5KV, Wafertablett 6KV, Acrylabdeckung 20KV, Tischplatte 10KV, Kunststofflagerschrank 30KV, Glasfaserkristallladebox gleitet über die Polypropylen-Tischplatte Mit 10KV.
Kurzum: Je höher die Sauberkeitsanforderungen des Reinraums, desto gravierender die elektrostatische Aufladung.