Einsatzbedingungen von Ionenlüftern in der Hightech-Fertigung
Eine Änderung der Belastungstechnik des Ionenlüfters wird sich auf die statische Kontrolle von Dämmstoffen bei der Herstellung von Hightech-Produkten auswirken. Die Kontrolle der statischen Elektrizität ist die Grundlage für die Verbesserung der Produktionseffizienz, die Verbesserung der Qualität und die Steigerung des Gewinns. Bei der Herstellung von Halbleitern, Festplatten und Flachbildschirmen (FPDs) ist die elektrostatische Kontrolle eine der grundlegenden Produktionsbedingungen. Wenn die statische Elektrizität nicht kontrolliert wird, leiden die Produkte unter starker ionischer Kontamination (ESA-Problem) und elektrostatischer Entladung (ESD-Problem), die durch elektrostatische Anziehung verursacht wird.
Organisationen wie die ESD Association und Semiconductor Equipment and Materials International verfügen über statische Kontrollsysteme, die statische Probleme beseitigen. Die Hauptmethode hierfür besteht darin, statisch leitende Materialien und statisch ableitfähige Materialien (einschließlich des menschlichen Körpers) zu verwenden, um eine direkte Verbindung mit der Erde herzustellen, um statische Elektrizität abzuleiten. Sowohl das Produkt selbst als auch die Arbeitsumgebung verwenden jedoch zwangsläufig isolierende Materialien.
Wenn die Isolierung ein integraler Bestandteil des Materialprodukts selbst ist, können Sie sie nicht ersetzen. Siliziumwafer mit Oxidschichten werden beispielsweise bei der Herstellung von Hightech-Produkten, in Epoxidharz vergossenen Einzelleiter-Bauelementen, Isoliermaterialien auf Bauelementestiften, Epoxid-Leiterplatten und Glasscheiben in der FPD-Industrie verwendet. Darüber hinaus sind Teflon, Quarz und viele Kunststoffe hochtemperaturbeständig, korrosionsbeständig und reinraumtauglich, aber allesamt isolierende Materialien. Die Erdung beseitigt keine statischen Aufladungen von Isoliermaterialien, daher bleibt in den meisten Fällen die einzige verbleibende Option die Neutralisation mit Luftionisation. Dies erfordert die Verwendung spezieller Geräte zur Beseitigung elektrostatischer Aufladungen.