Elektrostatische Adsorption von Ionen-fan
In der LCD-Industrie das Glassubstrat wird größer und die Fähigkeit, Ladungen anziehen wird ebenfalls verbessert. Aufgrund der Größe des Substrates kann jede Verunreinigung zu einem Rückgang der Rendite führen. Wie andere Verunreinigung-Kontrolle-Branchen hat die LCD-Industrie nach neuen Materialien gesucht, die ESD Probleme lösen können. In Reinräumen verwendeten Materialien sind auch wahrscheinlicher, antistatische Ionen-Gebläse zu benutzen, und neue Materialien auf Wattestäbchen und Lumpen anstelle von traditionellen Materialien ausprobiert werden können.
Das größte Problem mit ESD-Steuerelement in einem Reinraum ist die Bewegung des Menschen im Reinraum. Weil Menschen eine Menge von Polyestergeweben tragen, erzeugen sie eine Menge von der elektrischen Ladung. Die einzige Möglichkeit, diese kostenlos in einem Reinraum entfernen ist zu Erden.
In den vergangenen fünf Jahren wurde festgestellt, dass ein Kleidungsstück-System aus einer Mischung aus Carbon-Faser und Gewebe sorgt für Reinraum-Anforderungen für ISO 5 (Klasse 100).
Jeder Teil des Kleidungsstücks hat die gleiche elektrische Leitfähigkeit und verfügt über eine elektrisch leitende Verbindung von der Motorhaube bis zur Fußsohle. Personen arbeiten in einem Reinraum können durch die leitfähige Sohle ohne Erdung gehen, wenn solche Kleidung zu tragen, so dass sie nicht durch die Länge der die Masseleitung begrenzt werden.
Die Entstehung solcher Arbeitskleidung ist ein Ergebnis der hohen Anforderungen an das Produkt, das hilft, um die geringe Ausbeute und qualitativ schlechte Rate verursacht durch ESD Probleme im Reinraum zu reduzieren.
Es gibt keine billige und schnelle Reparaturmethode für ESD-Ion Lüftersteuerung. Der Schlüssel ist, Steuern die ESD, wie eine hängende Laminar-Flow Ionen-Fan, oder installieren Sie eine Ion Fan neben dem Material, das muss Steuern ESD. Die Größe des Chips (IC) abnimmt, wird es empfindlicher gegen ESD. Nun ist die Kontrolle der ESD nicht beschränkt sich auf den Schutz des Netzwerks arbeiten, sondern auch die Kontrolle der Wafer und die Mitarbeiter, die den Wafer zu produzieren. Viele Unternehmen mit hohen Ansprüchen sind ESD auf diese Weise steuern.
